MEMSは、民生機器・通信機器・自動車部品・その他(バイオ・アミューズメント・医療)など多様な分野において、超小型・高精度・省エネルギーに優れたデバイスとして注目されており、当社では、MEMSの進化に合わせたパッケージ構造のご提案を行っております。

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小型化 ・ 高精度 ・ 表面実装(SMT) |
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加速度センサー ・ 角速度センサー ・ 圧力センサー ・ 赤外線センサー ・ 慣性センサー ・ LiDAR (応用例) |
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積層アルミナ+W配線 ・ 電解Ni/Auめっき(無電解Ni/Auめっきも対応) ・ ワイヤーボンド、フリップチップ対応 ・ コバールリング+コバールリッドによる封止対応 |